愛德華真空泵維修E2M275-石灣愛德華真空泵-愛德華售后

半導體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。
所有居于地位的制程工具 oem，以及每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (euv) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。edward可以讓您有效應對這兩種應用。
euv 平版印刷泵送解決方案
多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，因為輕型 euv 系統(tǒng) 提供*短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，愛德華真空泵維修e2m28，可為您進行的大型投資提供 可靠性。
電子束平版印刷解決方案
電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關(guān)重要。
我們的產(chǎn)品解決方案
您可能需要使用渦輪分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。我們的 stp 系列 tmp 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，愛德華真空泵維修e2m18，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。
概述
eh 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真*裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、co2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
eh 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術(shù)，石灣愛德華真空泵，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術(shù)設備的制造商所需要的。
訂購信息
edwa*真空泵 eh4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵
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●eh4200fx 220-240 v or 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw on application
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●eh4200t160 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw a30979900
真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動機理
理論研究和試驗表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦時，真空泵轉(zhuǎn)子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦時，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數(shù)。
真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦
阻尼，愛德華真空泵維修e2m275，由于軸向干摩擦會引起系統(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。
另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要
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